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高純硅純度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)
Purity of High Pure Silicon
本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是以天然硅為原料,主要用于高純硅的純度分析校正,檢驗(yàn)純度分析方法的可靠性, 保證硅標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)溶液制備原料純度的可靠性和溯源性,用以提高硅標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)溶液濃度定值和硅含量分析的技術(shù)水平,滿足化學(xué)計(jì)量和高純硅純度分析等領(lǐng)域的需求。
選取雜質(zhì)分布均勻的高純天然硅片,均勻性初檢合格后用潔凈、帶蓋的塑料盒分裝。
定值前,樣品按規(guī)定步驟進(jìn)行清洗,再進(jìn)行稱量。采用輝光放電質(zhì)譜法(GDMS)、惰性氣體熔融-紅外熱導(dǎo)法、燃燒紅外法等多種方法對(duì)其中的 94 種雜質(zhì)含量進(jìn)行測(cè)量,重量扣除后得到硅的化學(xué)純度。方法的準(zhǔn)確度通過(guò)國(guó)際比對(duì) CCQM-P149(鋅純度測(cè)定)進(jìn)行了驗(yàn)證,并通過(guò)使用滿足計(jì)量學(xué)特性要求的測(cè)量方法和計(jì)量器具,保證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)特性量值的溯源性。
硅純度認(rèn)定值的不確定度評(píng)定涵蓋了全部測(cè)量流程,包括校正樣品、稱重、空白、所使用標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)等方面引入的不確定度,以及該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的不均勻性和不穩(wěn)定性引入的不確定度。
硅化學(xué)純度量值為:(99.9995 ± 0.000003)%,k=2;硅中雜質(zhì)元素含量(參考值)見(jiàn)附表。
按照 JJF1343-2012《標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定值的通用原則及統(tǒng)計(jì)學(xué)原理》要求,對(duì)該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)隨機(jī)抽樣進(jìn)行均勻性檢驗(yàn)和穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)。用 F 檢驗(yàn)法進(jìn)行樣品的均勻性檢驗(yàn);用平均值一致性檢驗(yàn)法進(jìn)行樣品的穩(wěn)定性檢驗(yàn)。檢驗(yàn)中使用與定值方法相同的測(cè)量方法進(jìn)行銅純度的測(cè)量,最小樣品取樣量為 0.2 g。
檢驗(yàn)結(jié)果表明該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)均勻性和穩(wěn)定性良好。該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)自定值日期起,有效期為 5 年,研制單位將持續(xù)跟蹤監(jiān)測(cè)該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的穩(wěn)定性,如發(fā)現(xiàn)量值變化,將及時(shí)通知用戶。
本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的包裝為塑料盒,每盒一片(f 40 mm´4 mm),室溫保存。樣品使用前需進(jìn)行清洗, 具體步驟為:1.用甲醇超聲清洗 3 分鐘,用純水清洗 4 次,用混合酸(硝酸+氫氟酸:1+6)超聲清洗 2.5 分鐘,用純水清洗 4 次,用純水超聲清洗 3 次,每次 1 分鐘;用甲醇清洗 2 次,涼干待用。
聲明
1.本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)僅供實(shí)驗(yàn)室研究與分析測(cè)試工作使用。因用戶使用或儲(chǔ)存不當(dāng)所引起的投訴,不予承擔(dān)責(zé)任。
2.收到后請(qǐng)立即核對(duì)品種、數(shù)量和包裝,相關(guān)賠償只限于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)本身,不涉及其他任何損失。
3.僅對(duì)加蓋“中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)專用章”的完整證書(shū)負(fù)責(zé)。請(qǐng)妥善保管此證書(shū)。
4.如需獲得更多與應(yīng)用有關(guān)的信息,請(qǐng)與技術(shù)咨詢部門聯(lián)系。
附表 高純硅中雜質(zhì)元素含量參考值(mg/kg)
|
元素 |
測(cè)量方法 |
量值 |
u |
元素 |
測(cè)量方法 |
量值 |
u |
元素 |
測(cè)量方法 |
量值 |
u |
|
H |
2 |
< 0.09 |
0.05 |
Se |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Tb |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
He |
4 |
< 0.001 |
0.0005 |
Br |
1 |
0.003 |
0.006 |
Dy |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Li |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Kr |
4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ho |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Be |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Rb |
1 |
0.004 |
0.008 |
Er |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
B |
1 |
0.002 |
0.004 |
Sr |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Tm |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
C |
3 |
2.21 |
0.94 |
Y |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Yb |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
N |
2 |
< 0.86 |
0.43 |
Zr |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Lu |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
O |
2 |
1.49 |
0.29 |
Nb |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Hf |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
F |
1 |
0.008 |
0.016 |
Mo |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ta |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Ne |
4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Tc |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
W |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Na |
1 |
0.027 |
0.054 |
Ru |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Re |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Mg |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Rh |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Os |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Al |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Pd |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ir |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
P |
1 |
0.002 |
0.004 |
Ag |
1 |
0.003 |
0.006 |
Pt |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
S |
3 |
< 1.5 |
0.75 |
Cd |
1 |
0.002 |
0.004 |
Au |
1 |
0.003 |
0.006 |
|
Cl |
1 |
0.080 |
0.16 |
In |
1 |
0.002 |
0.004 |
Hg |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
A r |
4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Sn |
1 |
0.002 |
0.004 |
Tl |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
K |
1 |
0.013 |
0.026 |
Sb |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Pb |
1 |
0.001 |
0.002 |
|
Ca |
1 |
0.008 |
0.016 |
Te |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Bi |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Sc |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
I |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Po |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Ti |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Xe |
4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
At |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
V |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Cs |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Rn |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Cr |
1 |
0.002 |
0.004 |
Ba |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Fr |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Mn |
1 |
0.003 |
0.006 |
La |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ra |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Fe |
1 |
0.006 |
0.012 |
Ce |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ac |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Co |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Pr |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Th |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Ni |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Nd |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Pa |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Cu |
1 |
0.017 |
0.034 |
Pm |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
U |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Zn |
1 |
0.021 |
0.042 |
Sm |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Np |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Ga |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Eu |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Pu |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
Ge |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Gd |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Am |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
|
As |
1 |
0.013 |
0.026 |
|
|
|
|
|
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|
注:1:輝光放電質(zhì)譜法 GDMS 2:惰性氣體熔融-紅外熱導(dǎo)法
3:燃燒紅外法
4:估算法
注:以上信息僅供參考,以產(chǎn)品附帶證書(shū)為準(zhǔn)。
高純硅純度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)
編號(hào):GBW02143 CAS號(hào):詳見(jiàn)證書(shū) 規(guī)格:1片(40mmx4mm,室溫保存) 濃度:99.9995
通話對(duì)您免費(fèi),請(qǐng)放心接聽(tīng)
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