本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)主要用于薄膜厚度測量和表面化學(xué)分析（深度剖析）儀器設(shè)備的檢定/校準(zhǔn)、分析方法的確認(rèn)與評價、技術(shù)仲裁測量以及測量質(zhì)量控制等。

一、樣品制備

    本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)系通過原子層沉積技術(shù)在單晶硅基底上生長二氧化硅納米薄膜成批制備而成，切割形成正方形片狀樣品（10mm×10mm×0.7mm）。

二、溯源性及定值方法

    本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)采用兩種國際公認(rèn)的不同原理方法（掠入射X 射線反射測量和橢偏測量）進(jìn)行定值。通過使用滿足計(jì)量學(xué)特性要求的測量方法和計(jì)量器具，保證其溯源性。

三、特性量值及不確定度

    標(biāo)準(zhǔn)值不確定度由兩種不同原理方法定值過程引入的不確定度以及標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)穩(wěn)定性和均勻性引入的不確定度等組成。

四、均勻性檢驗(yàn)及穩(wěn)定性考察

    參照J(rèn)JF 1343-2012《標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定值的通用原則及統(tǒng)計(jì)學(xué)原理》，隨機(jī)抽取標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)樣品 15 片，采用橢偏測量檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的均勻性，單因素方差分析結(jié)果表明標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)均勻性良好。

    本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)自定值日期起，在規(guī)定的貯存條件下有效期 2 年。

    研制單位將繼續(xù)跟蹤監(jiān)測本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的穩(wěn)定性。在有效期內(nèi)，如果特性量值發(fā)生重大變化需重新定值，將及時通知購買者。

五、包裝、儲存及使用

    本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)固定放置在氟化聚丙烯圓盒中，圓盒真空密封包裝于鋁箔袋內(nèi)，每盒 1 片。貯存在陰涼干燥的室溫環(huán)境條件下，運(yùn)輸過程中必須保持包裝的完整，使用過程中必須保持樣品表面清潔。

聲明

1.本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)僅供實(shí)驗(yàn)室研究與分析測試工作使用。因用戶使用或儲存不當(dāng)所引起的投訴，不予承擔(dān)責(zé)任。

2.收到后請立即核對品種、數(shù)量和包裝，相關(guān)賠償只限于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)本身，不涉及其他任何損失。

3.僅對加蓋章的完整證書負(fù)責(zé)。請妥善保管此證書。

4.如需獲得更多與應(yīng)用有關(guān)的信息，請與技術(shù)咨詢部門聯(lián)系。