反應系統(tǒng)中除氧是很重要的，因為：從安全上講，消除空氣（主要消除氧氣或其他氧化性氣體）就消除了燃燒三要素中的一個，減少了火災爆炸的可能性；從質量上講，空氣中的氧氣、水、二氧化碳，可能會和體系中物料反應產生雜質。另外，一些腐蝕性的氣體遇水后，可能會導致管路或氣動閥門的腐蝕，如氯化氫氣體和鹽酸氣對不銹鋼的腐蝕是不一樣的。

對于管路中的尾氣或工藝用氣，通常也需要將其盡量除去，如更換氣源時或設備維護（尤其是受限空間作業(yè)）。因為：有些工藝氣體是有毒有害的，可能對人體造成傷害，如硫化氫氣體、肼、氨氣、二氧化硫等；有些氣體高度易燃易爆的，如氫氣、甲烷、丁烷、乙炔等；有些氣體遇空氣中水汽可能造成設備設施的腐蝕，如氯化氫氣體、氮氧化物等；有的會造成窒息，如氮氣、氬氣、二氧化碳、沼氣等。

殘留氧可以通過氧分析儀檢測，其他氣體通常也有對應的氣體檢測儀可以檢測。

除去系統(tǒng)中不需要的氣體，通常采用的方法是真空排氣、置換排氣或兩者結合。

將體系抽到高真空可以將系統(tǒng)中的氣體全部排除。但是這個方法也有不足之處：體系不可能達到全真空，所以肯定會有部分氣體殘留，對于設備維護時殘留的毒害氣體、無水無氧反應體系中殘留的水和氧，這是不能接受的；將整個體系拉到真空需要，尤其是高真空，需要較長的時間；受管阻影響，可能距泵的最遠端的氣體無法抽干凈；高真空泵是個寶貝，不便宜，維護也不便宜。

所以用的比較多的還是置換。通常反應釜用氮氣置換，有時也用氬氣。當然如果是檢修前，應該是氮氣置換工藝氣體，再空氣置換氮氣。置換有兩種方法，一個是循環(huán)置換，另一個持續(xù)通氣轉換。循環(huán)置換通常是先抽真空再充氣，或先充壓再排氣，這樣效率高一些。也可以直接持續(xù)通氣稀釋體系氣體。對于簡單系統(tǒng)，如單管道，持續(xù)通氣可以，但是對于支管較多的管路，直接通氣置換的效率就比較低了。

理論上，循環(huán)置換排氣一次，殘留在體系中的工藝氣體含量是：

理論上，增加置換次數(shù)，或者降低排放壓力（或真空度），可以增加置換效率。實際操作時，如果體系氣密性不夠好的話，真空置換時次數(shù)太多，或真空度太高，并不會增加置換效率。比較實用的方法是：減少體系支管、真空置換后改持續(xù)通氣置換。